图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲 原书第3版
加快国产替代,振我中华之芯! 229个知识点,188张设备与构造图表 日本著名半导体专家佐藤淳一从业30多年积淀 无尘室、清洗与干燥、离子注入和热处理、光刻、刻蚀、成膜、平坦化、检测和分析、后段制程
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