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【内容】
压力传感器是使用最为广泛的力学传感器。微型化、智能化和网络化的压力传感器在高端装备、智能制造、机器人、物联网等新兴领域具有可观的应用潜力。微机电系统(MEMS)具有尺寸微小、片内集成、批量制造、材料宽泛等技术优势，是智能传感器的主流技术方向。
蒋庄德院士在MEMS压力传感器方面的研究两次获得国家技术发明奖，对我国传感器行业的技术进步起到了重要的引领和带动作用。，本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉，从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件，对于传感器或MEMS领域的研究人员具有重要的指导和参考意义。
蒋庄德院士在MEMS压力传感器方面的研究两次获得国家技术发明奖，对我国传感器行业的技术进步起到了重要的引领和带动作用。，本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉，从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件，对于传感器或MEMS领域的研究人员具有重要的指导和参考意义。
【目录】
第1章绪论
1.1新工业革命对优选传感器提出新要求
1.2MEMS是优选传感器的主流技术路线
1.3聚力发展特种、高端的压力传感器
参考文献
第2章MEMS压力传感器基础理论
2.1压阻效应压力传感原理
2.1.1压阻效应
2.1.2压阻材料
2.2谐振效应压力传感原理
2.2.1谐振效应
2.2.2谐振式压力传感器
2.3基于其他效应的压力传感原理
2.3.1基于压电效应的压力传感原理
2.3.2基于电容效应的压力传感原理
……
1.1新工业革命对优选传感器提出新要求
1.2MEMS是优选传感器的主流技术路线
1.3聚力发展特种、高端的压力传感器
参考文献
第2章MEMS压力传感器基础理论
2.1压阻效应压力传感原理
2.1.1压阻效应
2.1.2压阻材料
2.2谐振效应压力传感原理
2.2.1谐振效应
2.2.2谐振式压力传感器
2.3基于其他效应的压力传感原理
2.3.1基于压电效应的压力传感原理
2.3.2基于电容效应的压力传感原理
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